El desarrollo experimental de materiales nanoestructurados es de gran relevancia por su impacto científico y múltiples aplicaciones tecnológicas, tales como implantación iónica, ciencia de materiales, microelectrónica, física médica, biofísica, y otras. Dentro de estas áreas, los estudios de los procesos y mecanismos básicos de interacción en diversos materiales son de fundamental importancia para el desarrollo de nuevas técnicas experimentales, producción de nuevos materiales, modificación de sus propiedades físicas, y caracterización de los mismos mediante diversas técnicas espectroscópicas. Los estados de crecimiento y nucleación de nanoestructuras de silicio permiten la comprensión de los procesos de transporte de carga en este tipo de materiales y posibilitan su implementación como capa activa en dispositivos fotovoltaicos. Un estudio detallado de la formación y agrupación de los granos en las etapas de deposición enmarcan el desarrollo de este proyecto con miras a la implementación de capas de silicio micro y policristalino en diversas aplicaciones tecnológicas. En este trabajo se pretende sintetizar y caracterizar materiales de silicio micro y policristalino nanoestructurados con morfologías variadas. Las nanoestructuras serán fabricadas variando los parámetros de deposición en un amplio rango. Se caracterizarán sus propiedades más relevantes que den cuenta de la morfología, la microestructura (nanoestructura), los procesos de crecimiento y nucleación mediante TEM (Microscopía Electrónica de Transmisión) y espectroscopias asociadas al microscopio de transmisión, AFM (Microscopía de Fuerza Atómica) y XRD (difracción de rayos x).